Diferența dintre acoperirea prin pulverizare și acoperirea cu vid în compania de sticlă

Spre deosebire de evaporarea în vid, pulverizarea este utilizarea ionilor de înaltă energie pentru a se ciocni cu materialul țintă, astfel încât formarea de atomi, molecule, ioni să zboare, formând astfel o peliculă pe substrat.

Această metodă de scule este cea mai utilizată metodă în fabrica noastră de sticle de sticlă în popularizarea și industrializarea producției. Fenomenul de pulverizare este descoperit de Grove of A1 pe catodul de pe suprafața tubului de descărcare.

Ionii de înaltă energie (sau ioni neutri) și materialele țintă pentru a produce o coliziune elastică, suprafața țintă a ionilor absorb acest impuls și apoi o coliziune suplimentară cu ionii din jur, rezultatul este tăiat atomii de suprafață țintă legați de legătura dintre suprafața atomului zboară, ducând la pulverizare.

Toate tipurile de efecte cauzate de pulverizare sunt eficiente pentru de două ori emisia de electroni, pulverizarea catodului de sticlă (țintă), descompunerea analitică a gazului, încălzirea catodului, răspândirea curții în aspect, schimbarea rețelei și implantarea ionilor. În comparație cu numărul de particule pozitive incidente, R devine coeficientul de emisie de doi electroni al sticlei de sticlă, iar valoarea sa este afectată de proprietățile materialului țintă, masa ionilor pozitivi, potențialul de ionizare și mărimea impulsului celor două. electronii.

Când energia pozitivă a particulelor ajunge la zeci până la sute de electroni volți, valoarea R este în compania de sticlă de câteva 1% câteva o zecime.

Când un ion pozitiv se ciocnește cu o țintă, acesta se încălzește și 75% din energia sa este transformată în căldură, astfel încât materialul țintă trebuie să fie răcit, astfel încât ținta să poată fi descompusă sau chiar dizolvată. În general, energia vaporilor de vid de la sursa de evaporare pentru a zbura din atom din fabrica de sticlă este de 0.1ev, în materialul țintă stropește energia atomică decât sursa de evaporare în vid pentru a zbura afară a energiei atomice la un ordin mare de 1 ~ 2 de mărime, aproximativ 5 ~ 10 ev, fiecare unitate de timp are valoarea r, r a vitezei de pulverizare, iar densitatea ionilor pozitivi incidenti și valoarea coeficientului de pulverizare este proporțională cu produsul.